光激發光光譜量測系統

廠牌:Ysystems

日本製專業量測儀器,提供2、3、4、6吋晶圓光激發光自動傳動量測系統,精準量測LED/LD磊晶層厚,機體輕巧操作簡易。

PL mapping system

設備與技術

  • Wafer Size: 2″,3″,4″,6″
  • 粗化Wafer
  • 各式internal laser(四款), external laser(一款)簡易連結操作
  • 自動手臂傳送功能(可選擇)
  • 輕巧易操作的精密量測系統
  • Mapping點數可多重選擇使用

主要應用

  • LED/LD量測應用

詳細規格

Wafer Size2",3",4"
Mapping Resolution0.5mm~(0.1mm precision)
System controlPC-based USB/ Digital I/O