PVA TePla


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該等微波電漿系統為專為半導體和相關微電子工業(如功率器件,MEMS,HBLED等)的基本生產應用而設計,特別是:
•離子植入,乾式蝕刻厚的光阻去除
•金屬薄膜製程的前處理
·在濕法或等離子體蝕刻之後的表面清潔
•存儲後的表面清潔
•去除有機鈍化層和抗蝕劑
•去除MEMS製造中的犧牲層

 Plasma System GIGAbatch 360
                     
 
 
 Plasma System GIGAfab A150   
               
 
 
   
  
 Plasma System GIGAfab A200/300