PVA TePla

https://www.pvatepla.com/

該等微波電漿系統為專為半導體和相關微電子工業（如功率器件，MEMS，HBLED等）的基本生產應用而設計，特別是：
•離子植入，乾式蝕刻厚的光阻去除
•金屬薄膜製程的前處理
·在濕法或等離子體蝕刻之後的表面清潔
•存儲後的表面清潔
•去除有機鈍化層和抗蝕劑
•去除MEMS製造中的犧牲層

 Plasma System GIGAbatch 360
                     
 
 
 Plasma System GIGAfab A150   
               
    
 Plasma System GIGAfab A200/300